BMUB fördert neuartige Produktionsanlage für Trimethylgallium

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Quelle: Umicore AG

Berlin — Die Umicore AG & Co. KG aus dem hessischen Hanau errichtet eine neuartige Produktionsanlage, um Trimethylgallium (TMG) ressourcenschonend herzustellen. TMG wird bei der Herstellung von Halbleiterschichten benötigt. Das Pilotprojekt wird aus dem Umweltinnovationsprogramm mit über 1,4 Mio. Euro gefördert.

Mit dem neuen Verfahren kann im Vergleich zum derzeitigen Stand der Technik die Ausbeute an TMG erhöht und auf organische Lösemittel verzichtet werden. Das TMG soll durch chemische Umsetzung von Galliumtrichlorid mit einem Methylierungsmittel hergestellt werden. Entstehende Zwischenprodukte werden im Prozess rezykliert. Das resultierende Rohprodukt wird anschließend feindestilliert, um die für die Halbleitertechnik hohe Reinheit von nahezu 100 Prozent zu erreichen. Die bei der Reaktion anfallende Restsalzschmelze wird thermisch behandelt und der verbleibende Salzkuchen entsorgt.

Gegenüber dem Stand der Technik kann mit der neuen Produktionsanlage die Ausbeute an TMG, bezogen auf eingesetztes Gallium, nahezu verlustfrei realisiert werden. Weiterhin kann vollständig auf den Einsatz organischer Lösungsmittel verzichtet werden. Außerdem reduziert sich die Abfallmenge pro Kilogramm TMG um mehr als 50 Prozent.

Das Umweltinnovationsprogramm fördert die erstmalige, großtechnische Anwendung einer innovativen Technologie. Das Vorhaben muss über den Stand der Technik hinausgehen und sollte Demonstrationscharakter haben.

Quelle: Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz, Bau und Reaktorsicherheit